單晶矽(guī)微電子(zǐ)行(háng)業用的反滲透純水設備簡析
單晶矽是一種半導體材料,可用於製造集成電路和半導體器(qì)件。它屬於非金(jīn)屬元素(sù)。諸如探測器級單晶矽、電路級單晶矽和大功率晶(jīng)體管等電力(lì)電子器件,可(kě)以使用單晶矽。在微電子工藝(yì)中,需要有要求的純水(shuǐ),如果工業純水的水質要求不符合要求,產品的(de)使用將受到不同程度的影響。
反滲透純水設備可根據電子行業對純水質量的要求進行(háng)劃分。純水水質(zhì)電阻率可細(xì)分為0.5MΩ.cm、2MΩ.cm、10MΩ.cm、15MΩ.cm、18MΩ.cm、18.2MΩ.cm等之間(jiān)。
電子純水處(chù)理設備主要(yào)由預處理係統、離子交換混床(EDI電脫鹽係統)係統(tǒng)、RO反滲透主機係統(tǒng)等結構組成。預(yù)處理係統可根據當地(dì)原水水質采用鈉離(lí)子軟化器、精密過濾器、多介質過濾器、活性炭過濾器等工藝。
單晶矽微電子離子交換技術(shù)工藝流程:原水→ 多介質過濾器(qì)→ 活(huó)性炭過濾(lǜ)器(qì)→ 精密過濾器→ 中間水箱→ 反滲透設備→ 混(hún)床(chuáng)→ 超純水儲罐→ 超純水泵→ 保安過濾器→ 用水點。
預處理工(gōng)藝(yì)采用(yòng)反滲透技術,其次是離子交(jiāo)換技術。優點是離子設備的再生周期相對較長,酸堿消耗遠低於單獨使用離子樹脂。
上述(shù)是用於微(wēi)電子行(háng)業水處理設備的水處(chù)理工藝之一。如果您(nín)想了解其他水處理工藝(yì),可以到君浩環保進行詳細方案查詢。




