目前，電子工業超純水設備的（de）工藝基本上是以下三種，其餘的工藝流程，大都是在以下三種（zhǒng）基本工藝流程的基礎上，進行不同組合搭配（pèi）衍生而來。現將他們的優缺點分別列於（yú）下麵：

超（chāo）純水設備工藝一：

采用反滲透水處理設備（bèi）與離子交換設備進行組合製（zhì）備電子工業超純水的方式。

其基本工（gōng）藝流程（chéng）為：原水→多介（jiè）質過濾器→活性炭（tàn）過濾器→精（jīng）密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(複床)→超純水箱→超（chāo）純水泵→後（hòu）置保（bǎo）安過濾（lǜ）器→用水點

特點：初次投資比采用離子交換樹脂方式要稍高，但離子再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。是目前比較經濟與流行的一種工藝。

超（chāo）純水（shuǐ）設備工藝二：

采用離子交換樹脂（zhī）製備電（diàn）子工業超純水的（de）傳統水處理（lǐ）方式。

其基本（běn）工藝流程（chéng）為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾（lǜ）器→中間水箱（xiāng）→陽（yáng）床→陰床→混床(複床)→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點（diǎn）

優（yōu）點：初次投資少（shǎo），占用的地方少，但缺點就是需要（yào）經（jīng）常進行離（lí）子再生，耗（hào）費大量酸堿，而且對（duì）環境有破壞。

超純水設備工藝（yì）三：

采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行（háng）搭配製備電子工業超純水的的方式。

這是製取超純水的工藝（yì），也是一種環保，經濟，發展的超純（chún）水製備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介（jiè）質過濾器→活性炭過（guò）濾器→精密過濾器→中間水箱（xiāng）→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超（chāo）純水泵→後置保安過濾器→用水點

特點：是目（mù）前製取超純水環保的的工（gōng）藝，超純水設備不需要用酸堿（jiǎn）進（jìn）行再生便可連續製取超純水，對環境沒什麽破壞性（xìng）。其（qí）缺點在於初次投資相對以上兩（liǎng）種方式過於。

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